所謂的無塵潔凈廠房是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著集成電路技術的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵潔凈廠房)潔靜度的需求，在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命。

由于奈米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵潔凈廠房為集成電路制造不可或缺的要素。